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J-GLOBAL ID:200903010534149264
光重合可能な組成物
Inventor:
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,
,
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
斉藤 武彦 (外1名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):1995510164
Publication number (International publication number):1997503871
Application date: Sep. 22, 1994
Publication date: Apr. 15, 1997
Summary:
【要約】重合体性結合剤、少なくとも1種の遊離ラジカル重合性エチレン系不飽和化合物、ならびに光重合開始剤組合せとして、反応開始の補助をするだけではなく光重合性組成物の感度を所望のスペクトル領域に増加させる第三成分と共に、メタロセン化合物、N-フェニルグリシンまたは置換N-フェニルグリシンあるいはN-フェニルグリシン誘導体を包含する光重合性組成物で被覆したベースを包含するリソグラフィープレートが記載されている。
Claim (excerpt):
重合体結合剤、少なくとも1種の遊離ラジカル重合性エチレン系不飽和化合物、ならびに、光重合開始剤組合せとして、反応開始の補助をするだけではなく光重合性組成物の感度を所望のスペクトル領域に増加させる第三成分と共に、メタロセン化合物、N-フェニルグリシンまたは置換N-フェニルグリシンあるいはN-フェニルグリシン誘導体を包含する光重合性組成物で被覆したベースからなることを特徴とするリソグラフィープレート。
IPC (6):
G03F 7/028
, C09D 4/06 PEN
, C09D101/10 PDW
, C09D101/10 PGZ
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
FI (6):
G03F 7/028
, C09D 4/06 PEN
, C09D101/10 PDW
, C09D101/10 PGZ
, G03F 7/00 503
, G03F 7/004 503
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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