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J-GLOBAL ID：200903010569535701
走査型原子間力顕微鏡
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997115356
Publication number (International publication number)：1998293136
Application date： Apr. 17, 1997
Publication date： Nov. 04, 1998
Summary：
【要約】【課題】本発明は、半導体によるピエゾ抵抗体を備えた変位検出プローブにおいて、より高感度な抵抗値測定を行うことができ、また試料の観察に際してオペレータの手を煩わすことなく自動化することが可能で、広面積の試料を短時間で効率よく観察することのできる走査型原子間力顕微鏡を提供することを目的としている。【解決手段】本発明は、変位検出機構を備えてなる変位検出プローブを、試料表面に対して該試料表面との間に働く原子間力を検出しながら走査し、該試料の表面状態を測定する走査型原子間力顕微鏡であって、前記変位検出機構が、半導体によるピエゾ抵抗体を備えた変位検出プローブと、該変位検出プローブに隣接する該変位検出プローブと同構造のダミープローブとによって構成されていることを特徴とするものである。
Claim (excerpt)：
変位検出機構を備えてなる変位検出プローブを、試料表面に対して該試料表面との間に働く原子間力を検出しながら走査し、該試料の表面状態を測定する走査型原子間力顕微鏡であって、前記変位検出機構が、半導体によるピエゾ抵抗体を備えた変位検出プローブと、該変位検出プローブに隣接する該変位検出プローブと同構造のダミープローブとによって構成されていることを特徴とする走査型原子間力顕微鏡。
IPC (2)：
FI (2)：
G01N 37/00 G
, G01B 21/30 Z
