Pat

J-GLOBAL ID：200903010600528581

静圧軸受装置及びそれを用いた光学装置

Inventor： 徳島 忍
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 森岡 正樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999356303
Publication number (International publication number)：2001173654
Application date： Dec. 15, 1999
Publication date： Jun. 26, 2001
Summary：

【要約】【課題】本発明は、相対移動する固定部および可動部間に気体層を設けて所定の間隔に維持する静圧軸受装置に関し、高真空雰囲気中に流体流通配管からのアウトガスや透過ガスを放出させない静圧軸受装置を提供することを目的とする。【解決手段】固定部13aに対し微小隙間を介して対向し固定部13aに沿って移動可能に設けられた可動部13bが設けられている。可動部13bは、微小隙間に気体を供給する気体供給部13cと、気体供給部13cとを囲むように位置し微小隙間に供給した気体を回収するための低真空排気溝13fと有している。固定部13aは、低真空排気溝13fに対向する位置に気体を排気するための排気口13hを有している。また、低真空排気溝13fと排気口13hの内部を通り外部に接続され、軸受パッド13cに流体の流通を行う流体流通配管40が接続されている。

Claim (excerpt)：

固定部と、前記固定部に対し微小隙間を介して対向し前記固定部に沿って移動可能に設けられた可動部と、前記微小隙間に気体を供給する気体供給部と、前記気体供給部を囲むように位置し前記微小隙間に供給した気体を回収するための気体回収部とを備えた静圧軸受装置において、前記気体回収部は、前記可動部に設けられ、前記固定部は、前記気体回収部に対向する位置に前記気体を排気するための排気口を備え、外部から前記可動部に流体若しくは電気信号を供給するために、少なくとも一部が前記気体回収部の内部を通るように配置された配管若しくは配線を備えたことを特徴とする静圧軸受装置。

IPC (4)：

F16C 32/06 ,  G03F 7/22 ,  H01J 37/20 ,  H01L 21/027

FI (5)：

F16C 32/06 A ,  G03F 7/22 H ,  H01J 37/20 A ,  H01J 37/20 D ,  H01L 21/30 515 G

F-Term (17)：

3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA36 ,  3J102EA02 ,  3J102EA07 ,  3J102EA22 ,  3J102GA19 ,  5C001AA03 ,  5C001CC04 ,  5C001CC06 ,  5C001DD01 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03 ,  5F046CC17 ,  5F046CC20 ,  5F046DA07 ,  5F046DA26