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J-GLOBAL ID：200903010608477757

過酸化水素供給方法及び装置

Inventor： 宮崎 敏英 ,  武内 英樹
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996289165
Publication number (International publication number)：1998116812
Application date： Oct. 11, 1996
Publication date： May. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】濃硫酸やアンモニアを含んだ洗浄液に過酸化水素を安全且つ高効率に供給する。【解決手段】貯留槽7に貯留させた過酸化水素液8を窒素又は不活性ガスにより加圧し、その圧力によって、洗浄液2の下部に配した供給口9から過酸化水素液8を洗浄液2中に供給する。

Claim (excerpt)：

酸又はアンモニアを含む洗浄液に過酸化水素を供給する過酸化水素供給方法において、過酸化水素液を窒素又は不活性ガスにより加圧しながら前記洗浄液の下部に供給することを特徴とする過酸化水素供給方法。

IPC (5)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  C02F 1/58 ,  C02F 1/58 CDJ ,  C02F 1/72 ZAB

FI (5)：

H01L 21/304 341 T ,  H01L 21/304 341 S ,  C02F 1/58 H ,  C02F 1/58 CDJ P ,  C02F 1/72 ZAB B