Pat

J-GLOBAL ID：200903010616749243

ダイヤモンド膜の製造方法

Inventor： 生 駒 圭 子 ,  山 中 貢
Applicant, Patent owner： 日産自動車株式会社
Agent (1)： 小塩 豊
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992158077
Publication number (International publication number)：1993345697
Application date： Jun. 17, 1992
Publication date： Dec. 27, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ダイヤモンド核の発生密度が高く、膜の平坦性に優れたダイヤモンド膜を製造する。【構成】 ダイヤモンド核発生過程とそれに続くダイヤモンド膜成長過程を経るダイヤモンド膜の製造方法のうち前記ダイヤモンド核発生過程において、基体温度を上昇させる前に炭素源ガスを導入し、基体表面温度を急激に上昇させてダイヤモンド核発生を行うダイヤモンド膜の製造方法。

Claim (excerpt)：

ダイヤモンド核発生過程とそれに続くダイヤモンド膜成長過程を経るダイヤモンド膜の製造方法のうち前記ダイヤモンド核発生過程において、基体温度を上昇させる前に炭素源ガスを導入し、基体表面温度を急激に上昇させてダイヤモンド核発生を行うことを特徴とするダイヤモンド膜の製造方法。

IPC (3)：

C30B 29/04 ,  C01B 31/06 ,  C23C 16/26