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J-GLOBAL ID:200903010629631250

金属板の外観検査方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 進藤 満
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1993097187
Publication number (International publication number):1994288935
Application date: Mar. 31, 1993
Publication date: Oct. 18, 1994
Summary:
【要約】【目的】 金属板の微妙な表面欠陥を精度良く検査できる方法を提供する。【構成】 金属板監視用の電荷素子結合カメラから得たデジタル画像情報を個々に検査基準用の表面欠陥を記憶させたインタ-フェ-スボ-ドに並列に転送して、各ボ-ドから画像情報が検査基準に該当するか否かの出力信号をノイマンプロセッサ-に入力させることにより表面欠陥を判定する表面欠陥検査装置で金属板表面を検査する際、金属板面に対する照明の角度θ<SB>1</SB>とカメラの角度θ<SB>2</SB>とをθ<SB>1</SB>-20°≦θ<SB>2</SB>≦θ<SB>1</SB>-10°またはθ<SB>1</SB>+10°≦θ<SB>2</SB>≦θ<SB>1</SB>+20°(但し、0°<θ<SB>1</SB>,θ<SB>2</SB><90°)に設定し、両者を対向配置する。
Claim (excerpt):
複数の非ノイマン方式インタ-フェ-スボ-ドにそれぞれ種類の異なった表面欠陥および/または欠陥程度を記憶させることにより検査基準を設定して、金属板監視用の電荷素子結合カメラから得たデジタル画像情報を前記各インタ-フェ-スボ-ドに並列に転送し、各インタ-フェ-スボ-ドから画像情報が検査基準に該当するか否かの出力信号をノイマンプロセッサ-に入力させることにより表面欠陥を判定する表面欠陥検査装置を用いる金属板の選別方法において、照明と前記電荷素子結合カメラを金属板の上方で対向させた状態で金属板面に対する前者の角度をθ<SB>1</SB>に設定して、後者の角度をθ<SB>2</SB>をθ<SB>1</SB>-20°≦θ<SB>2</SB>≦θ<SB>1</SB>-10°またはθ<SB>1</SB>+10°≦θ<SB>2</SB>≦θ<SB>1</SB>+20°(但し、0°<θ<SB>1</SB>,θ<SB>2</SB><90°)に設定することにより金属板を監視することを特徴とする金属板の外観検査方法。
IPC (2):
G01N 21/89 ,  G01B 11/30

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