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J-GLOBAL ID：200903010632137061

ウェーハの洗浄方法およびその装置

Inventor： 保田 広安 ,  小林 敏
Applicant, Patent owner： 新日本製鐵株式会社
Agent (1)： 八田 幹雄 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992089084
Publication number (International publication number)：1993291224
Application date： Apr. 09, 1992
Publication date： Nov. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 ウェーハを洗浄するに際し、洗浄液の組成変化や劣化が発生せず、効果的にウェーハを洗浄することのできるウェーハの洗浄方法およびその装置を提供すること。【構成】 多種類の薬液をそれぞれ独立に加熱し、各薬液を混合して、ウェーハに液滴として吹付けることを特徴とするウェーハの洗浄方法および各薬液供給源1,2と、各薬液をそれぞれ独立に加熱する薬液加熱槽3,4と、加熱された各薬液を混合する混合器9と、該混合器中の混合された薬液をウェーハに吹き付ける吹付器10とよりなることを特徴とするウェーハの洗浄装置により上記目的は達成される。

Claim (excerpt)：

多種類の薬液をそれぞれ独立に加熱し、加熱した各薬液を混合して、ウェーハに液滴として吹付けることを特徴とするウェーハの洗浄方法。

IPC (2)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/02