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J-GLOBAL ID：200903010682539829

表面吸着ガス測定装置

Inventor： 小針 利明 ,  平野 暢夫 ,  佐藤 修
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 鵜沼 辰之
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994262365
Publication number (International publication number)：1996124506
Application date： Oct. 26, 1994
Publication date： May. 17, 1996
Summary：

【要約】【目的】 表面ドライプロセスの高精度化や超高真空機器の高性能化を図るために、材料表面のコンタミネーションとなる表面吸着ガスの分析を、高精度の位置分解能で、定量的に把握できる表面吸着ガス分析装置を提供する。【構成】 排気系7を設けた真空容器10中に試料1-1を載置する微動可能なX-Yステージ1を設け、試料1-1にレーザまたは電子線を照射し試料表面からガスを脱離、放出させるガス励起装置3と、試料1-1の照射部近傍で放出ガスを導入するコリメータ5と、別の排気系6によりコリメータ5を通じて吸入したガスを検出するガス検出装置2を設け、さらに予め求めたガス種ごとの基準データを有し、この基準データとガス検出装置2の検出値と比較し、試料1-1表面のガス吸着状態を判定する等のデータ処理を行う制御装置を設ける。

Claim (excerpt)：

第1の排気系を設けた真空容器と、該真空容器中で試料を載置する移動可能な試料台と、前記試料に励起種を照射し該試料表面からガスを放出させるガス励起装置と、該試料表面から放出するガスを導入するコリメータと、第2の排気系を設け該コリメータから導入されたガスを検出するガス検出装置と、前記各機器の動作の制御およびガスの検出データを処理する制御装置と、から構成された表面吸着ガス測定装置。

IPC (5)：

H01J 37/18 ,  G01N 1/22 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/04 ,  H01S 3/00