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J-GLOBAL ID：200903010683902722

流量計測器具およびそれを用いた基板処理装置

Inventor：
土屋 昭夫

About 土屋 昭夫


Applicant, Patent owner：
大日本スクリーン製造株式会社

About 大日本スクリーン製造株式会社


Agent (1)： 川崎 実夫 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001065132
Publication number (International publication number)：2002267511
Application date： Mar. 08, 2001
Publication date： Sep. 18, 2002
Summary：
【要約】【課題】計測する流体の流量が予め定められた任意の流量範囲内にあるか否かを検知することができる流量計測器具を提供することである。【解決手段】テーパ管1は、その上端が上蓋2により密閉されており、その下端が下蓋3により密閉されている。テーパ管1の中には、フロート8が備えられている。上蓋2を貫通して上下動可能に上部メカストッパ6が設けられており、下蓋3を貫通して上下動可能に下部メカストッパ7が設けられている。上部メカストッパ6の下端6aよりわずかに低い上下位置には、第1光学センサ9がテーパ管1に近接して設けられており、下部メカストッパ7の上端7aよりわずかに高い上下位置には、第2光学センサ10がテーパ管1に近接して設けられている。
Claim (excerpt)：
テーパ管内部のフロートの上下位置によって、テーパ管内部を流れる流体の流量を計測する流量計測器具であって、上記テーパ管に近接して設けられ、上記フロートが第1の上下位置にあることを検出する第1センサと、上記テーパ管に近接して設けられ、上記フロートが上記第1の上下位置よりも低い第2の上下位置にあることを検出する第2センサと、上記フロートが上記第1の上下位置よりも上に移動できないように、上記フロートの上下位置を規制する第1規制部材と、上記フロートが上記第2の上下位置よりも下に移動できないように、上記フロートの上下位置を規制する第2規制部材と、を備えたことを特徴とする流量計測器具。
IPC (2)：
G01F 1/22 ,  H01L 21/306
FI (2)：
G01F 1/22 A ,  H01L 21/306 J
F-Term (5)：
2F030CA10 ,  2F030CC01 ,  2F030CC11 ,  5F043EE29 ,  5F043EE40
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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