膜厚測定方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001233728
Publication number (International publication number)：2003042722
Application date： Aug. 01, 2001
Publication date： Feb. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】本発明は上記の問題に鑑みなされたものであり、その課題とするところは測定しようとする膜の屈折率を容易に求める機能を有する膜厚測定装置が望まれていた。【解決手段】分光反射率から干渉による極大、極小波長を全て求め、極大、極小値を与える波長に対応した仮の干渉次数を変えて膜厚を複数計算し、計算された複数の膜厚値のばらつきが一番小さい場合の干渉次数を真の干渉次数として、その干渉次数により算出された膜厚値の平均値を以って膜厚とすることを特徴とする膜厚測定方法であり、膜の屈折率を求める際に、膜厚既知のサンプルを測定しし、仮の膜屈折率を使用して前記方法で干渉次数を算出し、得られた干渉次数と極大、極小波長値、膜厚値から極大、極小波長に於ける膜屈折率を複数ポイント算出し、それらを近似式で置き換えて膜の屈折率とすることを特徴とする膜厚測定方法を提供する。

Claim (excerpt)：

分光反射率から干渉による極大、極小波長を全て求め、極大、極小値を与える波長に対応した仮の干渉次数を変えて膜厚を複数計算し、計算された複数の膜厚値のばらつきが一番小さい場合の干渉次数を真の干渉次数として、その干渉次数により算出された膜厚値の平均値を以って膜厚とすることを特徴とする膜厚測定方法であり、膜の屈折率を求める際に、膜厚既知のサンプルを測定し、仮の膜屈折率を使用して前記方法で干渉次数を算出し、得られた干渉次数と極大、極小波長値、膜厚値から極大、極小波長に於ける膜屈折率を複数ポイント算出し、それらを近似式で置き換えて膜の屈折率とすることを特徴とする膜厚測定方法。

IPC (5)：

G01B 11/06 , G01N 21/27 , G01N 21/35 , G01N 21/45 , G02F 1/13 101

FI (5)：

G01B 11/06 G , G01N 21/27 B , G01N 21/35 Z , G01N 21/45 A , G02F 1/13 101

F-Term (52)：

2F065AA30 , 2F065BB01 , 2F065BB22 , 2F065CC31 , 2F065FF51 , 2F065FF61 , 2F065GG02 , 2F065HH13 , 2F065JJ02 , 2F065JJ25 , 2F065LL03 , 2F065LL20 , 2F065LL26 , 2F065LL42 , 2F065LL67 , 2F065QQ13 , 2F065QQ18 , 2F065QQ26 , 2F065QQ29 , 2F065QQ30 , 2F065QQ42 , 2F065RR09 , 2G059AA02 , 2G059BB10 , 2G059BB15 , 2G059EE02 , 2G059EE09 , 2G059EE10 , 2G059EE11 , 2G059FF08 , 2G059GG10 , 2G059HH01 , 2G059HH06 , 2G059JJ01 , 2G059JJ02 , 2G059JJ05 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ17 , 2G059JJ22 , 2G059KK04 , 2G059MM01 , 2G059MM03 , 2G059MM04 , 2G059MM09 , 2G059PP04 , 2H088FA11 , 2H088FA18 , 2H088FA30 , 2H088KA02 , 2H088KA05 , 2H088MA20

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