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J-GLOBAL ID:200903010709059336

X線ズームレンズ

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 社本 一夫 (外5名)
Gazette classification:公表公報
Application number (International application number):2001540790
Publication number (International publication number):2003515728
Application date: Nov. 24, 2000
Publication date: May. 07, 2003
Summary:
【要約】X線を集束させるための光学アレイは、プレート(たとえば、ケイ素から製作される)を備えており、このプレート上にはプレートを貫通するチャネルを形成するように一連の同心円状のギャップをエッチングしている。プレート上にX線が入射すると、X線はチャネルの内側から集束点まで反射される。このプレートは拡大率を大きくさせるように湾曲させていることが好ましい。
Claim (excerpt):
X線に対して不透明なバンドで分離された複数のX線に対して透明なゾーンによりその表面が形成されているプレートを備える光学アレイであって、前記X線に対して不透明なバンドが、線源からのX線ビームを前記プレート上に投射したときに該X線のうちの少なくともある部分を前記バンドの最外側の壁から反射させるような厚さであり、前記プレートを成形して前記プレートを通過するX線を集束できるような湾曲表面を形成させることが可能な制御手段が存在する光学アレイ。
IPC (5):
G21K 1/06 ,  G02B 3/08 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/027
FI (5):
G21K 1/06 C ,  G02B 3/08 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 7/00 ,  H01L 21/30 531 A
F-Term (7):
2H097AA16 ,  2H097CA06 ,  2H097CA15 ,  2H097LA10 ,  2H097LA12 ,  2H097LA20 ,  5F046GB02

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