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J-GLOBAL ID：200903010720226635
物理的蒸着プロセスにおける作業雰囲気を高純度化するためのゲッタシステム
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
倉内 基弘 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998364353
Publication number (International publication number)：1999324915
Application date： Dec. 22, 1998
Publication date： Nov. 26, 1999
Summary：
【要約】【課題】 物理的蒸着プロセスにおける作業帯域での気体雰囲気を高純度化するためのゲッタシステムの提供。【解決手段】 作業帯域に挿入される一つ乃至複数の実質上平面状のゲッタ装置(26、26)から形成され、ゲッタ装置は作業帯域を構成するスクリーン(20、20’)に対して実質上平行でかつ離間され、ゲッタ装置とスクリーンとの間のスペース(25)が作業帯域に連通するよう配列され、ゲッタ装置は少なくともスクリーンに面する表面(28)がゲッタ材料(29)から作製されているゲッタシステム(24)。ゲッタ装置は、ゲッタ材料単独から作製された塊体としてまた金属支持体上にゲッタ材料を付着して構成されうる。
Claim (excerpt)：
物理的蒸着プロセスにおける作業帯域(21)の気体雰囲気を精製するためのゲッタシステム(24)にして、前記作業帯域に挿入される一つ乃至複数の実質上平面状のゲッタ装置(26、26’・・・;35;45;60)から形成され、その場合該ゲッタ装置は前記作業帯域を構成するスクリーン(20、20’・・・)に対して実質上平行でありかつ離間されそして前記ゲッタ装置とスクリーンとの間のスペース(25)が該作業帯域に連通されるように配列され、該ゲッタ装置は少なくともスクリーンに面する表面(28)がゲッタ材料(29)から作製されていることを特徴とするゲッタシステム。
IPC (4)：
F04B 37/02
, C22C 16/00
, C23C 14/00
, G11B 7/26
F04B 37/02 A
, C22C 16/00
, C23C 14/00 B
, G11B 7/26
