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J-GLOBAL ID：200903010731535966

光導波路及びその製造方法

Inventor： 大久保 博行 ,  本郷 晃史 ,  樫村 誠一
Applicant, Patent owner： 日立電線株式会社
Agent (1)： 松本 孝
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996219834
Publication number (International publication number)：1998062638
Application date： Aug. 21, 1996
Publication date： Mar. 06, 1998
Summary：

【要約】【課題】均一性及び平坦化に優れ、且つ低損失な光導波路及びその製造方法を提供することにある。【解決手段】コア領域、クラッド領域、及びバッファ層の一部又は全部を熱硬化型無機高分子ポリマー前駆体を出発原料とするガラス膜によって形成したこと、スピンコート法と熱分解時の雰囲気によって屈折率を制御する方法を用いたことにある。

Claim (excerpt)：

半導体、ガラス、高分子樹脂の何れかより成る基板上に形成された光導波路に於いて、該光導波路を構成する略矩形断面なコア領域、クラッド領域、及びバッファ層の一部又は全部を熱硬化型無機高分子ポリマー前駆体を出発原料とするガラス膜によって形成することを特徴とする光導波路。

IPC (2)：

G02B 6/13 ,  G02B 6/12

FI (2)：

G02B 6/12 M ,  G02B 6/12 N