Pat

J-GLOBAL ID：200903010757464498

プラズマを用いたハンダ付け方法

Inventor： ジョン・カスパー・フレイ ,  ラッセル・トーマス・フィオレンゾ
Applicant, Patent owner： モトローラ・インコーポレイテッド
Agent (1)： 本城 雅則 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992166730
Publication number (International publication number)：1993177343
Application date： Jun. 03, 1992
Publication date： Jul. 20, 1993
Summary：

【要約】【目的】 本発明は、プラズマを使用するハンダ付け装置および方法を提供することを目的とする。【構成】 励起したプラズマ18を形成するために、水素-窒素混合気体を使用するプラズマを用いたハンダ付け方法は、ハンダ40を同時にクリ-ニングし、加熱する。本発明では125パスカル1torr程度の比較的低い真空度のみを必要とする。プラズマ18に対しては熱源を必要とせず、ハンダ40をリフロし、フラックスは必要とはならない。温度の影響を受けやすい部品24は、プラズマ・イオン20ボンバ-ドからシ-ルドされ26、使用されるハンダ40の融点にもちこたえる必要はない。本発明による方法は、鉛-スズハンダ40に適切であり、金メッキされたポスト34と適合した金メッキされたホ-ル・ライニング38との接合部分で、テフロン-ガラスが塗布された配線板に対してポリエチリミド・ベ-ス板32をハンダ付けすることも可能である。

Claim (excerpt)：

第1表面および第2表面は直接互いに隣接し、前記第1表面および前記第2表面の接合部分にハンダ(40)を堆積する段階;チャンバ内に前記第1表面,前記第2表面および前記ハンダ(40)を配置する段階;前記チャンバ(10)を低い圧力に排気する段階;前記チャンバ(10)内にプラズマ(18)を提供する段階;前記プラズマ(18)を励起する段階;前記第1表面,前記第2表面および前記ハンダ(40)を前記プラズマ(18)と共にクリ-ニングする段階;前記プラズマ(18)と共に前記ハンダ(40)を加熱する段階;および前記第1表面,前記第2表面上に前記ハンダ(40)をリフロし、前記第1および第2表面の間にハンダ結合を形成する段階;から構成されることを特徴とするフラックスを使用しないプラズマを用いたハンダ付け方法。

IPC (3)：

B23K 1/00 ,  B23K 10/02 ,  H05K 3/34