酸化錫系ガスセンサの製造方法及び酸化錫系ガスセンサ

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：角谷哲生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2006194474
Publication number (International publication number)：2008020411
Application date： Jul. 14, 2006
Publication date： Jan. 31, 2008
Summary：

【課題】製造が簡易で安価で且つ検出感度の優れた酸化錫系ガスセンサの製造方法及び低コストで高感度の酸化錫系ガスセンサを提供する【解決手段】酸化錫にPd、Pt、Auのいずれかの貴金属触媒を担持させてなる酸化錫系ガスセンサの製造方法において、Snの酸性水溶液に炭酸水素アンモニウム水溶液及び/又はアンモニア水溶液を加えて水酸化錫ゲルを生成させ更にこの水酸化錫ゲルから水熱反応によりSnO2ゾルを形成させる一連の工程の、いずれかの段階でPd、Pt、Auのいずれかの貴金属を加え、少なくとも最終工程を、Pd、Pt、Auのいずれかの貴金属の存在下で行う。このような工程で得られる貴金属含有のSnO2ゾルを、Al2O3などの絶縁基板11の電極部12(例えば櫛歯型Au電極部)に含浸させ乾燥した後焼成することにより、貴金属触媒を担持させた多孔性の膜13からなる酸化錫系ガスセンサ素子10を得る。【選択図】図1

Claim (excerpt)：

酸化錫にPd、Pt、Auのいずれかの貴金属触媒を担持させてなる酸化錫系ガスセンサの製造方法において、Snの酸性水溶液に炭酸水素アンモニウム水溶液及び/又はアンモニア水溶液を加えて水酸化錫ゲルを生成させ、更にこの水酸化錫ゲルから水熱反応によりSnO2ゾルを形成させる一連の工程を含み、この一連の工程のうち少なくとも最終工程が、Pd、Pt、Auのいずれかの貴金属の存在下で行われることを特徴とする酸化錫系ガスセンサの製造方法。

IPC (1)：

G01N 27/12

FI (2)：

G01N27/12 M , G01N27/12 C

F-Term (8)：

2G046BA06 , 2G046BA09 , 2G046EA03 , 2G046FB02 , 2G046FE00 , 2G046FE29 , 2G046FE31 , 2G046FE39

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

COセンサおよびその製造方法
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平10-186966 Applicant：フィガロ技研株式会社

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