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J-GLOBAL ID：200903010834859824

酸化物超電導導体の製造装置および製造方法

Inventor： 尾鍋 和憲 ,  定方 伸行 ,  斉藤 隆 ,  長屋 重夫
Applicant, Patent owner： 株式会社フジクラ ,  中部電力株式会社
Agent (1)： 志賀 正武 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998161158
Publication number (International publication number)：1999353960
Application date： Jun. 09, 1998
Publication date： Dec. 24, 1999
Summary：

【要約】【課題】 臨界電流が高い酸化物超電導導体の提供。【解決手段】 内部に送り込まれたテープ状の基材38の移動中にこれの両面上に酸化物超電導層を形成するCVD反応を行うリアクタ31と、原料ガス供給源62に接続されてリアクタ31内に原料ガスを供給するガス拡散部40が少なくとも備えられてなり、ガス拡散部40は、リアクタ31に取り付けられたガス拡散部材45と該部材45に原料ガスを供給するガス導入管53とこれの先端部に設けられた横断面形状が長方形状のスリット54aを有するスリットノズル54からなり、ガス拡散部材45の前面壁42及び後面壁43の間隔はリアクタ31に近づくにつれて広くなっており、一対の側壁41,41は壁42と43の間隔よりも狭い一定の大きさであり、スリット54aはその長辺がリアクタ31内を移動中の基材38の長手方向に対して交差する方向に設けられた酸化物超電導導体の製造装置。

Claim (excerpt)：

内部に送り込まれたテープ状の基材の移動中にこれの両面上に酸化物超電導体の原料ガスを化学反応させて酸化物超電導層を形成するCVD反応を行うリアクタと、原料ガス供給源に接続されて前記リアクタ内に前記原料ガスを供給するガス拡散部が少なくとも備えられてなり、前記ガス拡散部は、前記リアクタに取り付けられたガス拡散部材と、該ガス拡散部材に接続され、前記原料ガスを前記ガス拡散部材に供給するガス導入管と、該ガス導入管の先端部に設けられた横断面の形状が長方形状のスリットを有するスリットノズルからなり、前記ガス拡散部材は、前記リアクタ内に送り込まれたテープの基材の長手方向に沿って設けられた対向する一対の側壁と、前記テープ状の基材の長手方向と交差する方向に設けられ、前記一対の側壁を相互に接続する前面壁及び後面壁を有し、前記前面壁と後面壁の間隔は前記リアクタに近づくにつれて広くなっており、前記一対の側壁の間隔は前記前面壁と後面壁の間隔よりも狭い一定の大きさになっているものであり、前記スリットノズルのスリットはその長辺が前記リアクタ内を移動中のテープ状の基材の長手方向に対して交差する方向に設けられていることを特徴とする酸化物超電導導体の製造装置。

IPC (4)：

H01B 13/00 565 ,  C01G 1/00 ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01B 12/06 ZAA

FI (4)：

H01B 13/00 565 D ,  C01G 1/00 S ,  C01G 3/00 ZAA ,  H01B 12/06 ZAA