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J-GLOBAL ID：200903010855819849
研磨コンポジット部材間において精確な横方向間隔を有する研磨用品
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
青山 葆 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993000490
Publication number (International publication number)：1993253852
Application date： Jan. 06, 1993
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：
【要約】【目的】 予想可能な、ばらつきのない再現可能な仕上げを予想可能な切削速度で得ることができる研磨用品の製造方法を提供する。【構成】 A.それぞれがくぼんだ底面部および側壁部を有する複数のくぼみをその中に有する表面と、裏面とを有する型押支持体ウェブを設け;B.バインダー先駆物質中に分散された複数の砥粒からなる研磨スラリーでくぼみを充填し;C.表面と裏面とを有する基材シートを設け、D.少なくとも基材シートの表面の一部分が型押支持体ウェブの表面に接触するように、基材シートの表面を型押支持体ウェブの表面に積層し;E.バインダー先駆物質を硬化させて、基材シートの表面上に複数の研磨コンポジット部材を形成する工程からなることを特徴とする研磨用品の製造方法。
Claim (excerpt)：
A.それぞれがくぼんだ底面部および側壁部を有する複数のくぼみをその中に有する表面と、裏面とを有する型押支持体ウェブを設け;B.バインダー先駆物質中に分散された複数の砥粒からなる研磨スラリーでくぼみを充填し;C.表面と裏面とを有する基材シートを設け、D.少なくとも基材シートの表面の一部分が型押支持体ウェブの表面に接触するように、基材シートの表面を型押支持体ウェブの表面に積層し;E.バインダー先駆物質を硬化させて、基材シートの表面上に複数の研磨コンポジット部材を形成する工程からなることを特徴とする研磨用品の製造方法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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