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J-GLOBAL ID：200903010870755881

静圧流体軸受装置、およびこれを用いたステージ装置、露光装置ならびにデバイス製造方法

Inventor： 崔 長植
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001053397
Publication number (International publication number)：2002257138
Application date： Feb. 28, 2001
Publication date： Sep. 11, 2002
Summary：

【要約】【課題】 真空チャンバ内で用いる静圧流体軸受装置の動作流体を効率的に回収する。【解決手段】 真空チャンバ内のウエハステージ等の移動体に保持された静圧パッドユニットに、静圧パッド11を囲む排気溝13を設けて、支持部材12を貫通する排気孔15および図示しないチューブを介して真空ポンプによって直接真空チャンバの外へ排気する。静圧パッドユニットごとに排気を効率的に回収するものであるため、軸受が大型化することなく、また、2次元移動ステージに好適である。

Claim (excerpt)：

互いに対向するガイドと移動体間に動作流体を供給する少なくとも1個の静圧パッドユニットを備えており、該静圧パッドユニットが、前記ガイドまたは前記移動体に対向する静圧パッドと、該静圧パッドを支持する支持部材と、該支持部材を貫通して前記静圧パッドの周囲に開口する排気孔に接続された真空排気手段を有することを特徴とする静圧流体軸受装置。

IPC (4)：

F16C 32/06 ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/027

FI (4)：

F16C 32/06 A ,  G03F 7/20 521 ,  G12B 5/00 T ,  H01L 21/30 503 A

F-Term (20)：

2F078CA02 ,  2F078CA08 ,  2F078CB02 ,  2F078CB05 ,  2F078CB09 ,  2F078CB16 ,  3J102AA02 ,  3J102BA06 ,  3J102BA11 ,  3J102CA16 ,  3J102CA19 ,  3J102CA36 ,  3J102EA02 ,  3J102EA07 ,  3J102EA23 ,  3J102EA24 ,  3J102GA01 ,  5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC03