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J-GLOBAL ID：200903010874162281

セラミックス・グリーンシート

Inventor： 尾形 知彦 ,  田中 剛 ,  正木 孝樹
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Agent (1)： 谷川 英次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997098125
Publication number (International publication number)：1998279364
Application date： Apr. 01, 1997
Publication date： Oct. 20, 1998
Summary：

【要約】【課題】 フォトマスクのパターン通りのビアやラインパターンを形成することが可能な感光性セラミックス・グリーンシートを提供すること。【解決手段】 無機粒子と感光性有機成分とから成るセラミックス・グリーンシートであって、その表面において、評価長さ4mm、カットオフ値0.8mmの場合に、JIS B0601に準拠する算術平均粗さが、1μm以下であるセラミックス・グリーンシート。

Claim (excerpt)：

無機粒子と感光性有機成分とから成るセラミックス・グリーンシートであって、その表面において、評価長さ4mm、カットオフ値0.8mmの場合に、JIS B0601に準拠する算術平均粗さが、1μm以下であるセラミックス・グリーンシート。

IPC (4)：

C04B 35/622 ,  C04B 35/632 ,  G03F 7/027 511 ,  H05K 1/03 610

FI (4)：

C04B 35/00 G ,  G03F 7/027 511 ,  H05K 1/03 610 D ,  C04B 35/00 108