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J-GLOBAL ID：200903010886018909

検査装置、検査方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体

Inventor： 鶴岡 真介
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 國分 孝悦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997335453
Publication number (International publication number)：1999166900
Application date： Dec. 05, 1997
Publication date： Jun. 22, 1999
Summary：

【要約】【課題】 液晶カラーフィルタのような周期性パターンを有する検査対象物の欠陥の有無を検出する。【解決手段】 ガラス基板12上に形成された液晶カラーフィルタ12をセンサ4で撮像する。その際、焦点調節機構6により故意に焦点をぼかした状態で撮像し、得られた画像データの画像の所定方向に沿ってデータを加算する射影演算を行い、その演算出力波形に生じるピークを欠陥として検出する。【効果】 焦点をぼかしかつ射影演算することにより、欠陥部のレベルと背景部のノイズとのS/N比が良好となり、欠陥部のピークが顕著に現われるので、検出が容易となる。

Claim (excerpt)：

検査対象物を撮像し画像データを出力する撮像手段と、上記撮像手段の焦点を合焦点からずらすように調節する焦点調節手段と、上記焦点を合焦点からずらせた撮像手段により上記検査対象物を撮像して得られる画像データについて、その画像の所定方向に沿って射影演算を行う演算手段と、上記射影演算して得られるデータの波形から上記検査対象物の欠陥を検出する検出手段とを備えた検査装置。

IPC (3)：

G01N 21/88 ,  G01M 11/00 ,  H04N 7/18

FI (3)：

G01N 21/88 E ,  G01M 11/00 T ,  H04N 7/18 B