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J-GLOBAL ID:200903010897136806

感光性組成物

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中村 稔 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991311241
Publication number (International publication number):1993150453
Application date: Nov. 27, 1991
Publication date: Jun. 18, 1993
Summary:
【要約】【構成】 一般式(I)又は(II)で表される構造を含有する水不溶かつアルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 -〔CH2-CH(CO-X1-R1-SO2NH-R2)]- (I) -〔CH2-CH(CO-X2-R3-NHSO2-R4)]- (II)式中、X1 、X2 はそれぞれ-O-または-NR5 -を示す。R1 、R3 はそれぞれ置換基を有していてもよいアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示す。R2 は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。またR4 は、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。R5 は水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。【効果】 塗布溶剤に対する溶解性、現像性、支持体への密着性、耐傷性、耐刷性にすぐれている。
Claim (excerpt):
一般式(I)又は(II)で表される構造を含有する水不溶かつアルカリ性水溶液に可溶な高分子化合物と、ポジ型に作用する感光性化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。 -〔CH2-CH(CO-X1-R1-SO2NH-R2)]- (I) -〔CH2-CH(CO-X2-R3-NHSO2-R4)]- (II)式中、X1 、X2 はそれぞれ-O-または-NR5 -を示す。R1 、R3 はそれぞれ置換基を有していてもよいアルキレン基、シクロアルキレン基、アリーレン基またはアラルキレン基を示す。R2 は水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。またR4 は、置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。R5 は水素原子または置換基を有していてもよいアルキル基、シクロアルキル基、アリール基またはアラルキル基を示す。
IPC (6):
G03F 7/039 ,  G03F 7/00 503 ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/033 ,  H01L 21/027
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
  • 特開昭63-127237
  • 特開平2-000866
  • 特開平2-167550
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