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J-GLOBAL ID：200903010898109667

酸化亜鉛配向膜の製造方法

Inventor： 大山 正嗣 ,  作花 濟夫 ,  横尾 俊信
Applicant, Patent owner： 出光興産株式会社
Agent (1)： 大谷 保
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992104362
Publication number (International publication number)：1993294622
Application date： Apr. 23, 1992
Publication date： Nov. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 均一かつ緻密なC軸が基板の表面に垂直に配向した酸化亜鉛薄膜を簡便かつ低コストで製造する方法の開発。【構成】 亜鉛化合物溶液を基板に塗布して得られた塗布膜を2段階の加熱処理を経ることによって得られる酸化亜鉛配向膜の製造方法

Claim (excerpt)：

亜鉛化合物溶液を基板に塗布して得られた塗布膜を200°C以上500°C未満で1段目加熱処理をし、さらに1段目の加熱温度より高い温度〜1000°C以下で2段目加熱処理をすることを特徴とする酸化亜鉛配向膜の製造方法。