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J-GLOBAL ID：200903010900886030

ネガ型感光性樹脂組成物

Inventor： 番場 敏夫 ,  指田 暢幸 ,  山本 光弘
Applicant, Patent owner： 住友ベークライト株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992284721
Publication number (International publication number)：1994130664
Application date： Oct. 22, 1992
Publication date： May. 13, 1994
Summary：

【要約】【構成】 ポリアミド酸のカルボキシル基に単又は多官能感光性基、更に低級アルコールを共有結合で導入したポリアミド酸エステル、ナフトキノンジアジド化合物及び光重合開始剤からなるネガ型感光性樹脂組成物。【効果】 高感度でかつ高解像度を有するネガ型のパターンが得られる。

Claim (excerpt)：

(A)下記式(1)で示されるポリアミド酸エステルと【化1】(B)ナフトキノンジアジド化合物及び(C)光重合開始剤を必須成分とするネガ型感光性樹脂組成物。

IPC (5)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/022 501 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

• 特開平4-120543
  
• 特開昭60-135935
  
• 特開昭55-009538
  
• 特開平3-296758
  
• 特開平3-170549
  
• 特開昭61-118423