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J-GLOBAL ID：200903010905802241

蒸着材料及びこれを用いたエレクトロクロミック素子の製造方法

Inventor： 橋本 茂 ,  寺田 順司 ,  杉原 正彦
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社 ,  株式会社オプトロン
Agent (1)： 渡辺 敬介 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996336473
Publication number (International publication number)：1998177192
Application date： Dec. 17, 1996
Publication date： Jun. 30, 1998
Summary：

【要約】【課題】 一般に使用される真空蒸着装置により、WO3 とMoO3 とからなる還元発色性エレクトロクロミック層を蒸着し、再現性が良く色ムラのないエレクトロクロミック素子を形成する。【解決手段】 還元発色性エレクトロクロミック層を蒸着形成するに際し、蒸着材料として、重量比が95/5〜80/20のWO3 とMoO3 の混合物に対して重量比が2/1〜10/1のMgOとAl2 O3 を1〜5重量%添加したものを用いる。

Claim (excerpt)：

WO3 と、MoO3 と、WO3 の沸点よりも高い融点を有する金属酸化物を1種類以上と、からなることを特徴とする蒸着材料。

IPC (3)：

G02F 1/15 505 ,  C09K 9/00 ,  C23C 14/24

FI (3)：

G02F 1/15 505 ,  C09K 9/00 B ,  C23C 14/24 E