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J-GLOBAL ID：200903010942901292
マルチモードアクセスを有する真空処理チャンバ
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
長谷川 芳樹 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998199207
Publication number (International publication number)：1999135296
Application date： Jul. 14, 1998
Publication date： May. 21, 1999
Summary：
【要約】 (修正有)【課題】 マルチモードチャンバアクセス構造を有し、ワークピースを処理するためのチャンバを得ることを目的とする。【解決手段】 真空チャンバ本体への接続は、クランプされた接続を介して行なわれる、真空チャンバルーフアッセンブリ4000を提供することにより、真空処理チャンバのメンテナンス性とコンポーネント交換の容易性が促進される。例えば、冷却、加熱、RFパワー等、ルーフアセンブリに必要なアクセサリー類は、アクセサリー類支持コールドプレートに独立して支持されて終端を成し、同コールドプレートは、例えばチャンバ本体からヒンジ回転させることにより簡単に動かせるよう、独立して装着されている。従って、チャンバのルーフはチャンバ本体から簡単に分離し交換できる。更に進んだモードでは、チャンバルーフ4014が簡単に持ち上げられ、処理チャンバ内部のモジュラーコンポーネントへの容易なアクセスを提供する。
Claim (excerpt)：
マルチモードチャンバアクセス構造を有し、ワークピースを処理するためのチャンバであって、処理されるワークピースを載せる略平坦な面を画成するペデスタルを含むチャンバ本体サブユニットと、前記チャンバ本体サブユニット上に、取り外し可能かつ密封状態で係合可能なチャンバルーフサブユニットであって、このチャンバルーフサブユニットは、前記チャンバ本体サンブユニット上に係合されている時には、前記ペデスタルワークピース表面に沿って、それと間隔をあけて延在するチャンバルーフを含み、前記チャンバルーフサブユニットは、前記ルーフから、また前記ペデスタルから離れて横方向に延在する少なくとも1つの延長部材を含む、チャンバルーフサブユニットと、前記チャンバルーフと間隔をあけて配置されるように、前記少なくとも1つの延長部材に取り外し可能に係合可能なコールドプレートサブユニットと、前記チャンバルーフに隣接して配置可能であるように、前記コールドプレートから支持されるコイルであって、このコイルは、RFパワーを受け入れ、誘導により、前記チャンバ内のガス中にプラズマを確立し得るコイルと、前記チャンバルーフサブユニットから独立してまたはそれと共に、ヒンジ回転軸を中心として前記コールドプレートサブユニットを動かすように、前記チャンバールーフサブユニットと前記コールドプレートサブユニットとの両方を、周縁部に装着するヒンジアッセンブリとを備え、これにより、第1モードでは、チャンバ内部へのアクセスのため、チャンバルーフとコールドプレートサブユニットの両方が、単一のアッセンブリとしてチャンバ本体サブユニットから遠ざかるように旋回され、また第2モードでは、チャンバルーフサブユニットにアクセスできるように、あるいはチャンバ本体サブユニットおよびコールドプレートサブユニットから簡単かつ直ちに取り外せるように、また常時はルーフサブユニットに面するコールドプレートおよびコイルコンポーネントへアクセスできるように、チャンバルーフサブユニットからは独立して、コールドプレートサブユニットがチャンバ本体サブユニットから遠ざかるように旋回されることを特徴とするチャンバ。
IPC (5)：
H05H 1/28
, B01J 3/00
, C23C 14/00
, C23C 16/50
, H01L 21/3065
H05H 1/28
, B01J 3/00 M
, C23C 14/00 C
, C23C 16/50
, H01L 21/302 B
