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J-GLOBAL ID：200903010974497027

光学性能評価測定装置

Inventor： 保坂 光太郎 ,  飯野 正行
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 高梨 幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993169645
Publication number (International publication number)：1995005074
Application date： Jun. 15, 1993
Publication date： Jan. 10, 1995
Summary：

【要約】【目的】 測定光学系のMTF等の光学性能を高精度に求めることができる光学性能評価測定装置を得ること。【構成】 投影手段に設けたテストパターンを測定光学系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテストパターン像を利用して演算手段により該測定光学系の光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する照明系を有していること。

Claim (excerpt)：

投影手段に設けたテストパターンを測定光学系により受光手段に投影し、該受光手段で得られたテストパターン像を利用して、演算手段により該測定光学系の光学性能を評価する際、該投影手段は光源からの光束を光ファイバーで導光し、該光ファイバーの射出面からの光束により該テストパターンの一部又は全部を照明する照明系を有していることを特徴とする光学性能評価測定装置。