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J-GLOBAL ID：200903010993158217

走査型プローブ顕微測定法および走査型プローブ顕微鏡

Inventor： 三島 周三 ,  戸田 明敏 ,  森田 清三 ,  菅原 康弘
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993308207
Publication number (International publication number)：1995159155
Application date： Dec. 08, 1993
Publication date： Jun. 23, 1995
Summary：

【要約】【目的】試料表面のより正確な像を得られる走査型プローブ顕微測定法を提供する。【構成】カンチレバーの変位検出系は、光てこ式変位センサーと光干渉式変位センサーを組み合わせて構成されている。光てこ式変位センサーの検出光110は、カンチレバー102の自由端の背面(探針104を設けた面の反対側の面)に斜めに入射し、そこで反射され四分割フォトダイオードに入射する。四分割フォトダイオードの出力に基づいて、力Fx による変位と力Fy +Fz による変位が得られる。光干渉式変位センサーの検出光は光ファイバー106からカンチレバー102の自由端の背面に照射され、その反射光により生じる干渉に基づいて、力Fz による変位が得られる。(力Fy +Fz による変位)-(力Fz による変位)を求めることにより、力Fx 、力Fy 、力Fz による各変位が得られる。

Claim (excerpt)：

カンチレバーの自由端に設けられた探針を試料表面に近づけて支持し、探針を試料表面に沿って相対的に走査し、互いに独立な三方向の力によるカンチレバーの変位成分を検出し、この互いに独立な三方向の力によるカンチレバーの変位成分に基づいて試料表面に関する像を形成する走査型プローブ顕微測定法。