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J-GLOBAL ID：200903011023713648
回折格子を用いた位置合わせ方法およびその装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山川 政樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995296616
Publication number (International publication number)：1997138110
Application date： Nov. 15, 1995
Publication date： May. 27, 1997
Summary：
【要約】【課題】 マスクとウエハを高精度に位置合わせする。【解決手段】 格子ピッチが異なる第1,第3の回折格子7,7aをマスク10に配置する。格子ピッチが第1,第3の回折格子7,7aとそれぞれ等しい第2,第4の回折格子8,8aをウエハ12に配置する。光源1から出射した2波長の単色光を各回折格子7,7a,8,8aに導き、その光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第1、第2、第3、第4のビート信号とする。第1、第2のビート信号から第1の位相差信号を検出し、第3,第4のビート信号から第2の位相差信号を検出する。第1、第2の位相差信号の差を求め、この位相差が零になるようにマスクステージ11とウエハステージ13を相対的に移動させて大まかな位置合わせを行う。次に、第1または第2の位相差信号に基づいてマスクステージ11とウエハステージ13を相対的に移動させて正確な位置合わせを行う。
Claim (excerpt)：
格子ピッチが互いに異なる第1、第3の回折格子を第1の物体に配置し、前記第1、第3の回折格子と格子ピッチがそれぞれ等しい第2、第4の回折格子を第2の物体に前記第1、第3の回折格子と一定の間隔を隔てて位置するように配置し、光源として周波数が互いに僅かに異なる2波長の単色光を発生する光源を用い、この光源から発生した第1の単色光のビームスポットを前記第1、第2の回折格子に対して所定の入射角度で入射させ、前記第1の回折格子から生じる前記第1の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第1のビート信号とし、前記第2の回折格子から生じる前記第1の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第2のビート信号とし、前記光源から発生した第2の単色光のビームスポットを前記第3、第4の回折格子に対して所定の入射角度で入射させ、前記第3の回折格子から生じる前記第2の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第3のビート信号とし、前記第4の回折格子から生じる前記第2の単色光の光ヘテロダイン干渉回折光を検出して第4のビート信号とし、前記第1、第2のビート信号から第1の位相差信号を検出し、前記第3、第4のビート信号から第2の位相差信号を検出し、これら両位相差信号の位相差に基づいて前記第1、第2の物体を相対的に移動させることにより、前記第1の回折格子あるいは前記第2の回折格子の格子ピッチの1/2以内に前記第1の回折格子と第2の回折格子との位置合わせを行うか、もしくは前記第3の回折格子あるいは前記第4の回折格子の格子ピッチの1/2以内に前記第3の回折格子と前記第4の回折格子との位置合わせを行ない、しかる後、前記第1の位相差信号もしくは前記第2の位相差信号に基づいて前記第1、第2の物体を相対的に移動させて位置合わせを行うことを特徴とする回折格子を用いた位置合わせ方法。
IPC (2)：
FI (2)：
G01B 11/00 G
, H01L 21/30 522 D
