Pat

J-GLOBAL ID：200903011066359465

走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー

Inventor： 戸田 明敏
Applicant, Patent owner： オリンパス株式会社
Agent (5)： 鈴江 武彦 ,  村松 貞男 ,  坪井 淳 ,  河野 哲 ,  風間 鉄也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002363967
Publication number (International publication number)：2004198134
Application date： Dec. 16, 2002
Publication date： Jul. 15, 2004
Summary：

【課題】スクイズ効果を抑制し、カンチレバーのQ値を高くする。【解決手段】走査型プローブ顕微鏡用カンチレバーは、一端121が基部110に固定されている可撓性の可撓梁120と、可撓梁120の他端122の側に設けられている探針130と、探針130と可撓梁120の他端122の側とを含む領域に形成されている貫通孔140とを備えている。【選択図】 図1

Claim (excerpt)：

基部と、 一端が基部に固定されている可撓性の可撓梁と、 可撓梁の他端側に設けられている探針と、 探針と可撓梁の他端側とを含む領域に形成されている貫通孔と、 を備えていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用カンチレバー。

IPC (2)：

G01N13/16 ,  G12B21/08

FI (2)：

G01N13/16 C ,  G12B1/00 601D