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J-GLOBAL ID：200903011081735279

有機化合物用の蒸着源、及び蒸着装置有機薄膜製造方法

Inventor： 根岸 敏夫 ,  越田 達彦
Applicant, Patent owner： 日本真空技術株式会社
Agent (1)： 石島 茂男 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999120842
Publication number (International publication number)：2000313952
Application date： Apr. 28, 1999
Publication date： Nov. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】発光層等の有機薄膜中に、発色剤等の微量な有機化合物を均一に分散させることができる技術を提供する。【解決手段】この蒸着源3は、リング形状の第1の容器本体50と、第1の容器本体50とは離間され、その中央位置に配置された第2の容器本体60とを有している。第1、第2の容器本体には、有機蒸着材料を収容できる有底の第1、第2の孔が複数個それぞれ設けられている。第1の容器本体50に発光剤を配置し、第2の容器本体60に発色剤を配置すると、多量の発光剤の蒸気中に、微量の発色剤の蒸気が均一に混合され、ガラス基板表面に均一な発光層を形成することができる。

Claim (excerpt)：

リング形状の第1の容器本体と、前記第1の容器本体とは離間し、その中央位置に配置された第2の容器本体とを有し、前記第1、第2の容器本体には、有機蒸着材料を収容できる有底の第1、第2の孔が複数個それぞれ設けられたことを特徴とする蒸着源。

IPC (5)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/58 ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14

FI (5)：

C23C 14/12 ,  C23C 14/24 A ,  C23C 14/58 C ,  H05B 33/10 ,  H05B 33/14 A

F-Term (15)：

3K007AB00 ,  3K007CA01 ,  3K007CB01 ,  3K007DA00 ,  3K007DB03 ,  3K007EB00 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  3K007FA03 ,  4K029BA62 ,  4K029BC07 ,  4K029DA00 ,  4K029DB12 ,  4K029DB14 ,  4K029GA01