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J-GLOBAL ID:200903011083976451
共焦点光学系
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1991297161
Publication number (International publication number):1993134186
Application date: Nov. 13, 1991
Publication date: May. 28, 1993
Summary:
【要約】【目的】 オプティカルスライスを高精度で行うことが出来ると共に、オプティカルスライスに伴う収差の増大が無いようにした共焦点光学系である。【構成】 光を試料9に集光する対物レンズ8と、光源からの光を対物レンズへ導き試料からの光を光電検出素子11へ導く分離光学素子2との間に、分離光学素子2側に第1のレンズ群3とその焦点位置にある絞り4と、対物レンズ8側に第2の凹凸レンズ51、52群からなる光束径変換光学素子5とを設け、凸凹レンズ群51、52を光軸方向に移動させることと同時に、凹凸レンズ群の各レンズ51、52の間隔を変化させる手段を有する共焦点光学系である。
Claim (excerpt):
光源からの光を試料に集光する対物レンズと、光源からの光を対物レンズへ導き試料からの光を光電検出素子へ導く分離光学素子との間にあって、前記分離光学素子側に第1のレンズ群と該レンズ群の焦点位置に設定された絞りとを設け、該対物レンズ側に第2のレンズ群を設け、該第2のレンズ群を構成する各レンズの間隔および第2のレンズ群と第1のレンズ群との間隔を変化させる手段を有することを特徴とする共焦点光学系。
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