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J-GLOBAL ID:200903011102939678

レーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 中前 富士男
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2001254999
Publication number (International publication number):2003065982
Application date: Aug. 24, 2001
Publication date: Mar. 05, 2003
Summary:
【要約】【課題】 試料に膜を形成することで発生する熱拡散率の測定精度の低下を抑制し、熱拡散率を高い精度で得ることが可能なレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法を提供する。【解決手段】 固体状試料の一面側に膜Aを形成した後、膜Aにレーザパルス光を照射して試料の他面側の温度上昇時間を測定し、試料の熱拡散率を求めるレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法であって、試料厚さと温度上昇時間とを基に仮熱拡散率を求め、仮熱拡散率を所定の補正式に代入して試料厚さを補正した後、補正後の試料厚さLS5と温度上昇時間とを基に熱拡散率を求める。
Claim (excerpt):
固体状試料の一面側に膜Aを形成した後、該膜Aにレーザパルス光を照射して前記試料の他面側の温度上昇時間を測定し、前記試料の熱拡散率を求めるレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法であって、前記試料厚さと前記温度上昇時間とを基に仮熱拡散率を求め、該仮熱拡散率を下記補正式に代入して前記試料厚さを補正した後、補正後の試料厚さLS5と前記温度上昇時間とを基に前記熱拡散率を求めることを特徴とするレーザフラッシュ法を用いた熱拡散率の測定方法。【数1】ここで、L1 は膜厚さ、L2 は試料厚さ、ρi は密度、ci は比熱、αi は熱拡散率、pはラプラス変数、下付き添え字の1は膜、2は試料をそれぞれ示す。
F-Term (11):
2G040AA01 ,  2G040AB05 ,  2G040AB09 ,  2G040BA26 ,  2G040CA02 ,  2G040CA22 ,  2G040CA23 ,  2G040DA03 ,  2G040DA05 ,  2G040EA06 ,  2G040HA18
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (3)
Article cited by the Patent:
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