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J-GLOBAL ID：200903011113638475

微小領域平行光線照射装置

Inventor： 藤崎 久雄
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (1)： 永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995055752
Publication number (International publication number)：1996247967
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 高強度で、かつ、中抜けのない平行なX線ビームを照射できる微小領域平行光線照射装置を提供する。【構成】 一の焦点22を回転軸30上に有し長軸21が回転軸30と傾いた楕円20を回転軸30を中心として1回転させたときに掃く面の凹面の一部を反射凹面11とする第1の反射鏡10と、焦点52が楕円20の他の焦点23と一致し対称軸51が回転軸30と平行な放物線50を回転軸30を中心として1回転させたときに掃く面の凸面の一部を反射凸面41とする第2の反射鏡40と、一の焦点22に設けられた微小光源60とを備えた微小領域平行光線照射装置。

Claim (excerpt)：

一の焦点を回転軸上に有し長軸が前記回転軸と傾いた楕円を前記回転軸を中心として1回転させたときに掃く面の凹面の一部を反射面とする第1の反射鏡と、焦点が前記楕円の他の焦点と一致し対称軸が前記回転軸と平行な放物線を前記回転軸を中心として1回転させたときに掃く面の凸面の一部を反射面とし、この反射凸面を前記反射凹面と対向配置した第2の反射鏡と、前記一の焦点に設けられた微小光源とを備え、前記微小光源からの光線が前記第1の反射鏡および第2の反射鏡により順次反射されて平行光に変換されることを特徴とする微小領域平行光線照射装置。

IPC (3)：

G01N 23/00 ,  G21K 1/06 ,  G21K 7/00

FI (3)：

G01N 23/00 ,  G21K 1/06 A ,  G21K 7/00