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J-GLOBAL ID：200903011147819312
誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993032529
Publication number (International publication number)：1994232056
Application date： Jan. 29, 1993
Publication date： Aug. 19, 1994
Summary：
【要約】【目的】 各種の処理を高品位で行い、かつ、高速度であるいは高効率で行うことが出来る誘電体バリヤ放電ランプを利用した処理方法を提供することである。【構成】 被処理物と処理用流体と該処理用流体を電離、解離、活性化処理するための放電装置とを内包した処理室を有する被処理物を処理する処理方法において、該処理用流体の放電処理と同時に少なくとも該被処理物を誘電体バリヤ放電ランプからの放射光で照射する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法を採用することによって達成される。
Claim (excerpt)：
被処理物と処理用流体と該処理用流体を電離、解離、活性化処理するための放電装置とを内包した処理室を有する被処理物を処理する処理方法において、該処理用流体の放電処理と同時に少なくとも該被処理物を誘電体バリヤ放電ランプからの放射光で照射する事を特徴とする誘電体バリヤ放電ランプを使用した処理方法。
IPC (3)：
H01L 21/205
, H01L 21/302
, H01L 31/04
Cited by examiner (7)
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