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J-GLOBAL ID：200903011157877922

現像装置

Inventor： 辻 雅夫
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996037889
Publication number (International publication number)：1997232211
Application date： Feb. 26, 1996
Publication date： Sep. 05, 1997
Summary：

【要約】【課題】 現像ノズルの先端に付着した現像液を確実に除去することが可能な現像装置を提供することである。【解決手段】 待機ポット4の内部に液だれ吸引ノズル15を設ける。液だれ吸引ノズル15は、現像ノズル9の先端に対応する位置に吸引口を有する吸引ノズル部19aを有し、その吸引口に多孔質部材18を配置している。液だれ吸引ノズル15の排気口19bには排気配管20を通して排気手段が接続されている。多孔質部材18の上面は、現像ノズル9の先端部10に近接して配置され、吸引路16aを通して吸引することにより、現像ノズル9の先端に付着した液滴27を多孔質部材18を通過させて吸引除去する。

Claim (excerpt)：

基板の上方から現像液を供給する位置と、基板上から退いた待機位置との間を移動可能に設けられた現像ノズルを備えた現像装置であって、待機位置にある前記現像ノズルの先端部に近接して配置された吸引口と、排気手段に接続される排気口とを有し、前記現像ノズルの先端部に付着した現像液の液滴を前記吸引口から吸引して前記排気口から排出する液滴吸引手段を備えたことを特徴とする現像装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/30 502

FI (2)：

H01L 21/30 569 C ,  G03F 7/30 502