蛍光測定方法、蛍光測定装置及びそれを用いた試料評価装置

Inventor： ,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：長谷川芳樹 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000172454
Publication number (International publication number)：2001349833
Application date： Jun. 08, 2000
Publication date： Dec. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】蛍光の時間波形の変動にかかわらず、波形データ等を正確かつ効率的に算出することが可能な蛍光測定方法、蛍光測定装置、及びそれを用いた試料評価装置を提供する。【解決手段】励起光源1から供給されるパルス状の励起光を試料Sに照射し、試料Sで発生した蛍光を集光光学系3及び分光器4を介して光検出器5で検出するとともに、蛍光の時間波形に対して制御装置6のデータ処理部62でデータ解析を行って、波形データや蛍光寿命などの物理量を算出する。このとき、データ解析に用いる時間軸に対して、励起光の時間波形を固定に配置するとともに、蛍光の時間波形及びフィッティング範囲を、励起光ピークよりも前の初期位置から後の終了位置に向けて移動しつつ、複数回のフィッティング計算を行い、所定の選択基準によって最適な測定波形データを選択する。

Claim (excerpt)：

パルス状の励起光を試料に照射する励起ステップと、前記励起光によって励起された前記試料から放出される蛍光を検出する光検出ステップと、前記光検出ステップで検出される蛍光の時間波形について、前記蛍光の時間波形に対して固定に設定された所定の時間範囲であるフィッティング範囲でのフィッティング計算を含むデータ解析を行って、波形データを算出するデータ処理ステップと、を備え、前記データ処理ステップにおいて、あらかじめ求められた励起光の時間波形、及び前記蛍光の時間波形を、前記フィッティング計算に用いる時間軸上に、前記蛍光の時間波形の蛍光ピークが前記励起光の時間波形の励起光ピークと略一致する時間位置よりも所定の時間幅だけ前または後の初期位置となるようにそれぞれ配置した後、前記初期位置から、前記蛍光ピークが前記励起光ピークと略一致する時間位置を挟んで前記時間軸上で反対側となる終了位置に向かって、前記蛍光の時間波形及び前記フィッテイング範囲、または前記励起光の時間波形を前記時間軸に対して移動させつつ、複数の異なる時間位置において、前記励起光の時間波形を参照して前記フィッティング計算をそれぞれ実行するとともに、前記フィッティング計算のそれぞれで算出された複数の前記波形データのうち、所定の選択基準によって選択された前記波形データを、最終的な測定波形データとすることを特徴とする蛍光測定方法。

F-Term (19)：

2G043CA01 , 2G043CA07 , 2G043EA01 , 2G043FA03 , 2G043GA08 , 2G043GB21 , 2G043HA01 , 2G043HA09 , 2G043HA15 , 2G043JA01 , 2G043JA03 , 2G043KA08 , 2G043KA09 , 2G043LA01 , 2G043LA02 , 2G043NA01 , 2G043NA04 , 2G043NA05 , 2G043NA06

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

特開平3-175372
特開昭59-072049
特開平2-268255

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