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J-GLOBAL ID：200903011169789824

ウェーハ収納容器のウェーハ抑え

Inventor： 大堀 伸一
Applicant, Patent owner： 信越ポリマー株式会社 ,  信越半導体株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994166850
Publication number (International publication number)：1996031920
Application date： Jul. 19, 1994
Publication date： Feb. 02, 1996
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】クリープ変形を起こしたり、作業性を損ねることがなく、しかもウェーハの形状が変わっても保持力に影響を与えることのないウェーハ収納容器のウェーハ抑えを提供する。【構成】蓋体3の底面に装着されて、内箱1に収納された各ウェーハWの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑え4が、直方形をした支持枠5と、その内の相対する二辺に基部が連設され内方へU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材6とからなり、弾性部材6の先端は蓋体3の底面と 0.5〜10mmの間隙αをおいて配設されているものである。

Claim (excerpt)：

蓋体の底面に装着されて、内箱に収納された各ウェーハの上縁を弾性的に支持するウェーハ抑えが、直方形をした支持枠と、その内の相対する二辺に基部が連設され内方にU字状に屈曲すると共に幅方向が櫛状に分岐する、左右対称の片持ち構造の弾性部材とからなり、弾性部材の先端は蓋体の底面と 0.5〜10mmの間隙をおいて配設されていることを特徴とするウェーハ収納容器のウェーハ抑え。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B65D 85/86 ,  C23C 14/50