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J-GLOBAL ID：200903011191654959
基板搬送装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994051349
Publication number (International publication number)：1995232802
Application date： Feb. 23, 1994
Publication date： Sep. 05, 1995
Summary：
【要約】【目的】 カセット内に収納された基板をアームと干渉することなく取り出せる基板搬送装置を提供する。【構成】 支持台10と門型フレーム15とに立設された第2のガイド16に昇降支持部材17が外嵌されるとともに、第2ネジ軸18に螺合され、第2ネジ軸18の下部に正逆可能なZ軸モータ11が連動連結されている。昇降支持部材17の昇降台20上に、第3のガイド21と、正逆可能なX軸モータ12に連動連結された第1のプーリー22と第2のプーリー23とに張設された無端状のベルト24とが配備され、ベルト24に移動台30が取り付けられるとともに、第3のガイド21に外嵌されている。支柱31を介して移動台30にアーム32が片持ち支持され、CPUのX軸,Z軸モータ12,11の駆動制御によりアーム32を前進駆動中に微小な距離だけ上昇するように構成されている。
Claim (excerpt)：
基板を多段に収納するカセットから前記基板を取り出し、かつ前記基板をカセットへ収納する基板搬送装置において、前記基板の端部を支持するアームと、前記アームを昇降させる昇降駆動手段と、前記アームを前進・後退させる前進・後退駆動手段と、前記アームがカセット内へ進入している間に、前記アームを水平姿勢で微小距離だけ上昇変位させる上昇変位手段と、を備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (2)：
B65G 1/00 543
, H01L 21/68
