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J-GLOBAL ID:200903011208169162

レーザービーム測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995159949
Publication number (International publication number):1996327444
Application date: Jun. 02, 1995
Publication date: Dec. 13, 1996
Summary:
【要約】【目的】本発明はレーザービームの位置ずれや大きさに影響されず、正確にビーム径を測定可能なレーザービーム測定装置を提供することを目的とする。【構成】レーザービーム測定装置10はレーザー・ポリゴン駆動同期採取部12を介して演算制御部11により光書込装置20の駆動を制御しつつ、光書込装置20から出射されるレーザービームλの主走査及び副走査方向の光強度、特に、副走査方向の光強度を測定部13のCCDにより検出し、A/D変換部14でディジタル変換して副走査検出信号として演算制御部11に入力する。演算制御部11は副走査方向のピークレベルPmax を検出したCCDのピーク画素Kmax を特定し、ピーク画素Kmax から予め設定した所定画素数n離れた位置の画素をボトム画素KoとしてボトムレベルPmin を測定する。演算制御部11はこのピークレベルPmax とボトムレベルPmin に基づいて閾値Pthを演算し、閾値Pthと副走査検出信号との交点間の幅をビーム径として演算する。
Claim (excerpt):
レーザービームの最大光強度と最小光強度に基づいて閾値を算出し、該閾値からレーザービームのビーム径を測定するレーザービーム測定装置において、前記レーザービームの光強度変化を検出する光検出手段と、前記光検出手段がレーザービームの最大光強度を検出した最大検出位置から所定方向に所定ビット離れたビット位置をレーザービームの最小検出位置として設定し、該設定した最小検出位置で前記光検出手段の検出したレーザービームの最小光強度と前記最大光強度に基づいて前記閾値を算出してレーザービームのビーム径を算出するビーム径算出手段と、を備えたことを特徴とするレーザービーム測定装置。
IPC (3):
G01J 1/02 ,  G01B 11/02 ,  G01J 1/42
FI (3):
G01J 1/02 L ,  G01B 11/02 Z ,  G01J 1/42 E

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