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J-GLOBAL ID：200903011224071725

結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法

Inventor： 中山 鶴雄 ,  和気 仁志
Applicant, Patent owner： ぺんてる株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994027426
Publication number (International publication number)：1995216587
Application date： Jan. 31, 1994
Publication date： Aug. 15, 1995
Summary：

【要約】【構成】 陽極酸化処理により得た多数の貫通孔を有する酸化アルミニウム薄膜体に結晶化の熱処理を施してなる結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法。熱処理の前に溶解液で処理して貫通孔の孔壁を溶解して孔径を大きくしておく。【効果】 吸着活性と耐薬品性に優れ、また、結晶質ゆえの強度を有する結晶質酸化アルミニウム薄膜体を、変形や割れを十分に抑制しながら容易に製造することができる。また、溶解液による処理により貫通孔の大きさを変えることもできるので、貫通孔の大きさ調整も兼ねることができる。

Claim (excerpt)：

陽極酸化処理により得た多数の貫通孔を有する酸化アルミニウム薄膜体を溶解液で処理して前記貫通孔の孔壁を溶解して孔径を大きくし、その後、結晶化の熱処理を施してなる結晶質酸化アルミニウム薄膜体の製造方法。

IPC (3)：

C25D 11/18 ,  C12N 11/14 ,  G01N 27/327