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J-GLOBAL ID：200903011286468710

ペリクル付ガラスマスク

Inventor： 千葉 正彦
Applicant, Patent owner： 日本プレシジョン・サーキッツ株式会社
Agent (1)： 松田 和子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993083203
Publication number (International publication number)：1994295057
Application date： Apr. 09, 1993
Publication date： Oct. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 ペリクル外部の気圧の変動によるペリクル膜の形状変化を防止し、信頼性の高いペリクル付ガラスマスクを提供することである。【構成】 主表面に遮光性のパターンが形成されたガラス板13と、ペリクルフレーム11との間に、欠落部15を有する金属薄膜14を形成する。

Claim (excerpt)：

主表面に遮光性のパターンが形成されたガラス板と、ペリクルフレームとの間に、欠落部を有する金属薄膜を形成したことを特徴とするペリクル付ガラスマスク。

IPC (2)：

G03F 1/14 ,  H01L 21/027