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J-GLOBAL ID：200903011289783560

基板搬入搬出装置

Inventor： 森田 彰彦 ,  今西 保夫 ,  渋川 潤 ,  西村 和浩
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 福島 祥人
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998121274
Publication number (International publication number)：1999312725
Application date： Apr. 30, 1998
Publication date： Nov. 09, 1999
Summary：

【要約】【課題】 基板収納容器の種類によらず基板の収納の有無を検出することが可能な基板搬入搬出装置を提供することである。【解決手段】 載置部2に載置された一体型カセット35の斜め上方にCCDカメラ11を配置し、照明装置10から一体型カセット35内に光を照射した状態で撮像し、得られた2次元画像データを円柱座標系に変換し、円柱座標系の各画素値を基板の整列方向に沿って走査して1次元画像データを求める。さらに、照明装置10を消灯した状態で上記と同様にして消灯時の1次元画像データを求める。そして、照明点灯時の1次元画像データから消灯時の1次元画像データを減算することにより基板の端縁のみの1次元画像データを求め、この1次元画像データに基づいて基板収納容器内の各収納棚における基板の有無を検出する。

Claim (excerpt)：

基板が収納される複数段の収納棚を有する基板収納容器との間で基板の受け渡しを行う基板搬入搬出装置であって、前記基板収納容器が載置される載置部と、前記基板収納容器から基板を取り出すことと前記基板収納容器に基板を収納することが可能な基板受け渡し手段と、前記載置部に載置された前記基板収納容器を照明する照明手段と、前記載置部に載置された前記基板収納容器を撮像して画像の明るさを示す画像データを出力する撮像手段と、前記照明手段の点灯時に前記撮像手段から出力される画像データから、前記照明手段の消灯時に前記撮像手段から出力される画像データを差し引くことによって基板の端縁の画像データを抽出する抽出手段と、前記抽出手段により抽出された画像データに基づいて前記基板収納容器内の各収納棚の基板の有無を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする基板搬入搬出装置。

FI (3)：

H01L 21/68 D ,  H01L 21/68 L ,  H01L 21/68 V

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-219088
  
• 入出力一体型情報操作装置
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-067473   Applicant：松下電器産業株式会社