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J-GLOBAL ID：200903011290429290

感光性樹脂組成物およびその用途

Inventor：
佐藤 弘章

About 佐藤 弘章


Applicant, Patent owner：
日本合成化学工業株式会社

About 日本合成化学工業株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998188145
Publication number (International publication number)：2000010272
Application date： Jun. 17, 1998
Publication date： Jan. 14, 2000
Summary：
【要約】【課題】 レジスト剥離性に優れ、PDP等の大形ガラス基材上に電極を形成する等のパターン形成用途に有用な感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルムを提供すること。【解決手段】 重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を30重量部以上90重量部未満、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなる感光性樹脂組成物及びそのフォトレジストフィルム。
Claim (excerpt)：
重量平均分子量4万未満のベースポリマー(a)100重量部に対して、エチレン性不飽和化合物(b)を30重量部以上90重量部未満、光重合開始剤(c)を0.1〜30重量部、及びヒドロキシ脂肪酸又はその誘導体(d)を含有してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。
IPC (10)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/10 ,  C08L101/00 ,  C09D 7/12 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  C09D 5/00 ,  C09D201/00
FI (10)：
G03F 7/004 512 ,  G03F 7/004 501 ,  C08K 5/09 ,  C08K 5/10 ,  C08L101/00 ,  C09D 7/12 Z ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/033 ,  C09D 5/00 C ,  C09D201/00
F-Term (59)：
2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB20 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC31 ,  2H025BC51 ,  2H025CA00 ,  2H025CB55 ,  2H025CC01 ,  2H025CC20 ,  2H025DA20 ,  2H025EA08 ,  4J002BG001 ,  4J002BG041 ,  4J002BG051 ,  4J002BG061 ,  4J002BG071 ,  4J002CD191 ,  4J002CF001 ,  4J002CK001 ,  4J002EE038 ,  4J002EE048 ,  4J002EE058 ,  4J002EF037 ,  4J002EF046 ,  4J002EF057 ,  4J002EF076 ,  4J002EF116 ,  4J002EH076 ,  4J002EH106 ,  4J002EN038 ,  4J002EP016 ,  4J002EU058 ,  4J002EU118 ,  4J002EV048 ,  4J002EV218 ,  4J002EV308 ,  4J002EW046 ,  4J002FD148 ,  4J002GF00 ,  4J002GP03 ,  4J038CG141 ,  4J038DD001 ,  4J038DG001 ,  4J038EA011 ,  4J038FA012 ,  4J038GA03 ,  4J038JA36 ,  4J038JA38 ,  4J038KA04 ,  4J038MA14 ,  4J038NA26 ,  4J038PA17 ,  4J038PB11 ,  4J038PC08
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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