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J-GLOBAL ID：200903011305161230

ヒーター

Inventor：
古川 正和

About 古川 正和


Applicant, Patent owner：
イビデン株式会社

About イビデン株式会社


Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004043977
Publication number (International publication number)：2004214211
Application date： Feb. 20, 2004
Publication date： Jul. 29, 2004
Summary：
【課題】 温度制御しやすく、薄くて軽いヒーターを提供する。【解決手段】 窒化物セラミックまたは炭化物セラミックからなる板状体の表面に金属粒子を焼結して形成した発熱体が設けられていると共に、この板状体には熱電対用の凹部が形成されていることを特徴とするヒーター。窒化物セラミックまたは炭化物セラミックは、熱膨張係数が金属より小さく、薄くしても、加熱によりそったり、歪んだりしない。そのため、かかるヒーター板は薄くて軽いものとすることができる。また、かかるヒーター板は、熱伝導率が高く、ヒーター板自体が薄いため、ヒーター板の表面温度が、発熱体の温度変化に迅速に追従する。【選択図】 図2
Claim (excerpt)：
窒化物セラミックまたは炭化物セラミックからなる板状体の表面に金属粒子を焼結して形成した発熱体が設けられていると共に、この板状体には凹部が形成されていることを特徴とするヒーター。
IPC (7)：
H05B3/74 ,  H01L21/02 ,  H01L21/027 ,  H05B3/00 ,  H05B3/10 ,  H05B3/12 ,  H05B3/20
FI (7)：
H05B3/74 ,  H01L21/02 Z ,  H05B3/00 310E ,  H05B3/10 C ,  H05B3/12 A ,  H05B3/20 393 ,  H01L21/30 567
F-Term (38)：
3K034AA03 ,  3K034AA16 ,  3K034AA34 ,  3K034AA37 ,  3K034BA02 ,  3K034BB06 ,  3K034BB14 ,  3K034BC04 ,  3K034BC12 ,  3K034CA26 ,  3K034DA04 ,  3K034HA04 ,  3K058AA86 ,  3K058AA95 ,  3K058BA14 ,  3K058CA69 ,  3K058CE02 ,  3K058CE13 ,  3K058CE19 ,  3K092PP20 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB04 ,  3K092QB30 ,  3K092QB43 ,  3K092QB61 ,  3K092QB75 ,  3K092QB76 ,  3K092QC52 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF22 ,  3K092UA05 ,  3K092VV04 ,  3K092VV22 ,  3K092VV31 ,  5F046KA04
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (3)

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