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J-GLOBAL ID：200903011316659168

非接触光学式の二面間距離測定装置

Inventor：
関根 明彦

About 関根 明彦


Applicant, Patent owner：
株式会社トプコン

About 株式会社トプコン


Agent (1)： 西脇 民雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992270136
Publication number (International publication number)：1994117824
Application date： Oct. 08, 1992
Publication date： Apr. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】 ゴム、金属その他の物質からなる不透明体であっても非接触でその不透明体の厚さ、段差等の二面間の距離を測定することができる非接触光学式の二面間距離測定装置を提供することを目的とする。【構成】本発明に係わる非接触光学式の二面間距離測定装置は、被測定物体28の一面Pと他面Qとの間の距離として定義される被測定物体の厚さdを測定するために、被測定物体28を間に挟んで対向しかつコヒーレントな測定光を各面にそれぞれ照射する一対の対向面用測定光学系12、13を備え、一対の対向面用測定光学系12、13はそれぞれ参照反射面16、24を有すると共に、被測定物体28の各面P、Qからの測定光の反射光束と参照反射面16、24からの測定光束の参照反射光とに基づく干渉光を受光する受光器PD1、PD2、PD3をそれぞれ有し、各受光器にはその受光出力に基づいて被測定物体28の厚さdを測定する測定処理回路が接続されている。
Claim (excerpt)：
被測定物体の一面と他面との間の距離として定義される被測定物体の厚さを測定するために、該被測定物体を間に挟んで対向しかつコヒーレントな測定光を各面にそれぞれ照射する一対の対向面用測定光学系を備え、該一対の対向面用測定光学系はそれぞれ参照反射面を有すると共に、前記被測定物体の各面からの測定光の反射光束と参照反射面からの測定光束の参照反射光とに基づく干渉光を受光する受光器をそれぞれ有し、該各受光器にはその受光出力に基づいて前記被測定物体の厚さを測定する測定処理回路が接続されていることを特徴とする非接触光学式の二面間距離測定装置。
IPC (3)：
G01B 11/06 ,  G01B 9/02 ,  G01B 21/00
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 特開平1-235806
  • 特開昭64-003534
  • 特開昭58-113804
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Cited by examiner (2)
  • 特開平1-235806
  • 特開昭64-003534

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