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J-GLOBAL ID：200903011321608903

位置検出方法及び露光方法

Inventor：
中島 伸一

About 中島 伸一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 立石 篤司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2004295789
Publication number (International publication number)：2006108533
Application date： Oct. 08, 2004
Publication date： Apr. 20, 2006
Summary：
【課題】高精度な露光を実現する。【解決手段】ステップ411では、ステップ405で計測された今回の計測結果のみによりEGA演算を行って算出されたパラメータajkに従うモデルMのペナルティ付き対数尤度PL(M)を算出する。ステップ419では、行列Tを参照し、ζより大きいTjkに対応するパラメータajkの重み付け平均値a’jk(s)を式(1)に適用した場合のペナルティ付き対数尤度PL(M’)の値を算出する。そして、ステップ421においてPL(M’)<PL(M)が否定されるか、ζ=0となるまで、ζを1デクリメントし、ステップ425においてモデルMをモデルM’に置換し、上記処理を繰り返し、最終的にPLの値が良好であったモデルを、最適モデルとして選択する。ステップ433では、重み付け平均値が選択されなかった重みwを0に初期化する。【選択図】図4
Claim (excerpt)：
複数の物体上にそれぞれ配列された複数の区画領域の位置情報を検出する位置検出方法において、 物体毎に、前記複数の区画領域の配列を規定する所定モデルの複数のパラメータの値を算出するに際し、前記複数の区画領域のうちの少なくとも一部の区画領域の位置情報の検出結果に基づいて得られる所定の評価規準の値に応じて、前記複数のパラメータのうちの少なくとも一部のパラメータの値を、前記検出結果のみから得られた当該パラメータの値と、これまでに得られたそのパラメータの値との両方に基づいて、該両方に与える重みを変化させながら決定することを特徴とする位置検出方法。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00
FI (3)：
H01L21/30 525W ,  G01B11/00 C ,  G01B21/00 D
F-Term (33)：
2F065AA02 ,  2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA17 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF51 ,  2F065GG03 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL20 ,  2F065LL24 ,  2F065LL30 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ42 ,  2F069AA02 ,  2F069AA03 ,  2F069AA13 ,  2F069AA17 ,  2F069BB15 ,  2F069CC06 ,  2F069GG07 ,  2F069JJ14 ,  2F069NN17 ,  2F069NN26 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06
Patent cited by the Patent：
Cited by applicant (4)
  • 特開昭61-44429号公報
  • 特開昭62-84516号公報
  • 位置合わせ方法
    Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-137642   Applicant：株式会社ニコン
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