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J-GLOBAL ID：200903011335826946

薄膜形成装置

Inventor： 稲葉 純一 ,  舘野 裕昭 ,  佐藤 信夫 ,  下野 和幸
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992296837
Publication number (International publication number)：1994145982
Application date： Nov. 06, 1992
Publication date： May. 27, 1994
Summary：

【要約】【目的】 各種薄膜形成に使用される薄膜形成装置において薄膜を形成する基板材料の搬送及び冷却にベルトを用いた場合、このベルトの冷却方法として二重の冷却ベルトい或は液状の冷却媒体を用いることにより、電磁変換特性を始めとする、磁気テープの特性を改善し、同時に生産性を著しく改善することを目的とする。【構成】 冷却ベルト12の内側に、二重に小冷却ベルト16を設け、小冷却ローラ17によって冷却することで基板材料の温度上昇を防ぎ、蒸発源からの飛来分子の入射角を低くできるため、緻密で堅固な薄膜形成が可能となり、ビデオ用蒸着磁気テープに使用した場合、電磁変換特性、スチル寿命、ヘッド目詰まり等の面で飛躍的に向上した良好な特性が得られ、同時に生産性を向上させることができる。

Claim (excerpt)：

蒸着、スパッタ等、薄膜形成時に被薄膜形成材料に対し、熱負荷を与える薄膜形成装置において、薄膜形成効率を向上させるベルト状の冷却帯を使用する場合、この冷却帯を更に冷却するため、内側に二重以上の冷却帯を設け、接触面積を増すことにより、冷却効率を高める機構を有することを特徴とする薄膜形成装置。

IPC (2)：

C23C 14/56 ,  G11B 5/85