Pat

J-GLOBAL ID：200903011343486372

酸化物単結晶の製造方法および装置

Inventor： 今枝 美能留 ,  今西 雄一郎 ,  今井 克宏 ,  本多 昭彦
Applicant, Patent owner： 日本碍子株式会社
Agent (1)： 杉村 暁秀 (外5名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995062586
Publication number (International publication number)：1996259375
Application date： Mar. 22, 1995
Publication date： Oct. 08, 1996
Summary：

【要約】【目的】μ引下げ法によって酸化物単結晶を製造するのに際して、ルツボの大きさを大型化し、あるいは原料の量を増大させても、良好な酸化物単結晶を連続的に引き下げて形成できるようにすることである。【構成】溶融ルツボ7と、溶融ルツボ7よりも容量の小さい単結晶育成ルツボ16とを使用する。酸化物単結晶の原料を溶融ルツボ7内で溶融させ、この原料を、溶融ルツボ7の開口13aを通して、単結晶育成ルツボ16へと連続的に供給する。単結晶育成ルツボ16の引出し口の溶融物に対して種結晶25を接触させ、この引出し口から下方へと向かって溶融物を引下げながら酸化物単結晶を育成することを特徴とする。

Claim (excerpt)：

溶融ルツボと、この溶融ルツボよりも容量の小さい単結晶育成ルツボとを使用し:酸化物単結晶の原料を前記溶融ルツボ内で溶融させ、この原料を、前記溶融ルツボの開口を通して前記単結晶育成ルツボへと連続的に供給し、この単結晶育成ルツボの引出し口の溶融物に対して種結晶を接触させ、この引出し口から下方へと向かって前記溶融物を引下げながら前記酸化物単結晶を育成することを特徴とする、酸化物単結晶の製造方法。

IPC (5)：

C30B 15/08 ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 ,  C30B 29/62

FI (5)：

C30B 15/08 ,  C30B 15/02 ,  C30B 15/34 ,  C30B 29/30 A ,  C30B 29/62 E