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J-GLOBAL ID：200903011404416712

透明導電膜

Inventor： 杉原 忠 ,  町野 毅
Applicant, Patent owner： 三菱マテリアル株式会社
Agent (1)： 佐藤 隆久 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992349730
Publication number (International publication number)：1994177407
Application date： Dec. 02, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：

【要約】【目的】 特に耐湿性に優れ、特性の経時的変化が少ない透明導電膜を提供すること。【構成】 本発明の透明導電膜は、酸化亜鉛系の透明導電膜2であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる。また、本発明の別の観点による透明導電膜2aは、下層側透明導電膜8の表面側に、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる酸化亜鉛系の上層側透明導電膜6が積層してある。

Claim (excerpt)：

酸化亜鉛系の透明導電膜であり、Alが0.4〜4.5原子%含まれ、かつフッ素が0.05〜2.0原子%含まれる透明導電膜。

IPC (4)：

H01L 31/04 ,  C03C 4/14 ,  C04B 41/87 ,  H01B 5/14