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J-GLOBAL ID：200903011455883595
走査型電子顕微鏡
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992012845
Publication number (International publication number)：1993205688
Application date： Jan. 28, 1992
Publication date： Aug. 13, 1993
Summary：
【要約】【目的】本発明は、試料がチャージアップされても、このチャージアップを除去して同一領域を安定して測定する。【構成】電子ビームのビーム電流をビーム検出器(16)により検出すると共に試料(7) から放出される二次電子による電流を二次電子検出器(8) により検出する。これらビーム電流と二次電子による電流とに基づいて加速電圧算出手段(18)により試料(7) における正負電荷の蓄積状態が判断され、この蓄積状態に応じて試料(7) における極性を中性にする電子銃(2) の加速電圧が求められる。そして、この求められた加速電圧が電子銃(2) に印加される。これにより、試料(7) の蓄積電荷は中性化される。
Claim (excerpt)：
電子銃から出力された電子ビームを試料に照射し、この試料から放出される二次電子を捕えて前記試料に対する表面測定を行う走査型電子顕微鏡において、前記電子ビームのビーム電流を検出するビーム検出器と、前記二次電子による電流を検出する二次電子検出器と、前記ビーム検出器により検出されたビーム電流と前記二次電子検出器により検出された電流とに基づいて前記試料における正負電荷の蓄積状態を判断し、この蓄積状態に応じて前記試料における極性を中性にする前記電子銃の加速電圧を求める加速電圧算出手段と、この加速電圧算出手段により求められた加速電圧を前記電子銃に印加する電圧制御手段とを具備したことを特徴とする走査型電子顕微鏡。
Patent cited by the Patent：
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